半導體用臭氧水去除有機物質(zhì)臭氧濃度需要達到多少

使用臭氧水可去除的物質(zhì)以及所需臭氧的濃度

利用臭氧的強氧化能力，可以實現(xiàn)分解并去除大量的雜質(zhì)。

根據(jù)雜質(zhì)的形狀與數(shù)量的不同，所需濃度也將有所變化，請參考下圖數(shù)據(jù)。

此外，如將稀氫氟酸與臭氧水同時使用，去除雜質(zhì)的效果將倍增。